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產品資料

成都西野：ULVAC愛發(fā)科多室濺射設備

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科多室濺射設備
產品型號: ENTRON TM -EX W300
產品展商: ULVAC愛發(fā)科
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

ENTRON TM -EX W300


成都西野：ULVAC愛發(fā)科多室濺射設備  的詳細介紹
濺射裝置負載鎖定型

多室
濺射設備ENTRON TM -EX W300

Al、Cu、高熔點金屬 是單晶圓多室兼容平臺，在金屬布線工藝上有很多成就。通過將 SIS（自離子濺射）-PVD、金屬 CVD/ALD 和用于下一代工藝的 DRY 預處理模塊相結合，實現了*佳的性價比。

特征

  • 基于我們傳統(tǒng)型號 ENTRON TM -W300 / W200 系列的*新型號，改進主要旨在提高生產率。
  • *多可安裝 8 個工藝（PVD、ALD、CVD 等），外加 2 個（脫氣、冷卻）模塊。
  • 配備我們的新型搬運機器人，實現 100wph 或更高的機械吞吐量。
  • 我們提供*適合專用工藝或小型晶圓廠的 S 型（單一型）和支持大型晶圓廠的 T 型（串聯型），并靈活應對客戶的生產計劃。
  • 可安裝監(jiān)控和管理設備運行狀態(tài)的ED-PMS系統(tǒng)，可安裝非接觸式膜厚測量裝置MESEC-BIT。

采用

  • *先進的半導體制造設備
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