成都西野供應日本日立HITACHI高分辨率FEB測長儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應日本日立HITACHI高分辨率FEB測長儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
產(chǎn)品型號: CG5000
產(chǎn)品展商: 日本日立HITACHI
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
成都西野供應日本日立HITACHI高分辨率FEB測長儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
CG5000革新了運送類系統(tǒng)，并通過對電子光學技術及圖像處理技術的改良，實現(xiàn)了有史以來 高（注1）的分辨率，處理能力，測長再現(xiàn)性。并且該系統(tǒng)還強化了自動校準功能，提供了長期穩(wěn)定的運行率。
另外，CG5000采用新測長技術及應用，可應用于使用新流程/新材料時所面臨的測長課題，也可**適用于1Xnm級設備的開發(fā)。
成都西野供應日本日立HITACHI高分辨率FEB測長儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
成都西野供應日本日立HITACHI高分辨率FEB測長儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
的詳細介紹
高生產(chǎn)性
此裝置革新了運送機器的結構構成（包括裝、卸部件以及平臺速度和停止精度的提高），實現(xiàn)AF的高速化，通過可變像素實現(xiàn)測長區(qū)域的 優(yōu)化，從而縮短MAM時間，與以往相比，提高了約40%的處理能力。
高分辨率
此裝置通過改良電子光學技術及圖像處理技術（降噪，改善邊緣銳度，圖像內部暗部強調），改善了Image Sharpness。
長期穩(wěn)定性
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再現(xiàn)性
此裝置通過電子光學系統(tǒng)的穩(wěn)定化，以及增加計量類型，可以實現(xiàn)測長區(qū)域的可設定性的可變像素，達到較高的再現(xiàn)性。
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匹配
此裝置使用平臺上的專用樣品，通過開發(fā)的多種自動校準功能，實現(xiàn)了長期穩(wěn)定的匹配性能。
特別是顯著改善了CG5000同一型號間的機型差異，實現(xiàn)了生產(chǎn)線管理的穩(wěn)定化。
